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AML英國制造 MEMS傳感器有源皮拉尼和壓電計 AGP-1真空測量 概觀

更新時間：2024-04-01      瀏覽次數：443

AML英國制造 MEMS傳感器有源皮拉尼和壓電計 AGP-1真空測量 概觀

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MEMS有源皮拉尼和壓電計

AGP主動皮拉尼·高格黑德

AGP Active Pirani Gaugehead

AGP皮拉尼規結合了尖的端的MEMS傳感器技術、精密的數字信號處理和先進的測量算法。

概觀

  • 1 x 10的測量范圍

    -6

    至1200毫巴（7.5 x 10

    -7

    至900托）
  • 超寬范圍高性能MEMS傳感器
  • 先進創新的數字信號處理
  • 從5到1200毫巴的精密氣體獨立傳感器
  • 可安裝在任何方向，不影響性能
  • 可編程電壓輸出信號
  • 數字RS-232接口
  • 一個用于過程控制的固態設定點
  • 10巴（145磅/平方英寸）的高過壓容限
  • 堅固、緊湊的不銹鋼法蘭和外殼設計

傳感器的設置和參數是用戶可編程的串行接口，使診斷，

預測性維護，服務，校準，設定值配置，模擬輸出縮放

和實時真空壓力測量的采集。提供多種模擬輸出縮放選

項，以模擬其他供應商的真空計和傳感器。

■ Measurement range: 1 x 10-6 mBar to 1333 mBar (7.5 x 10-7 to 1000 Torr)

■ Ultra-wide range high performance MEMS Pirani sensor 

■ Advanced innovative digital signal processing

■ Precision gas-independent sensor from 5 to 1333 mBar 

■ 0 - 10 Vdc programmable voltage output 

■ Mountable in any orientation without impact on performance 

■ Programmable voltage output signal 

■ Digital RS-232 interface 

■ One solid-state relay for process control 

■ High overpressure tolerance of 10 bar (145 psi) absolute 


■測量范圍:1 x 10-6毫巴至1333毫巴（7.5 x 10-7至1000托）

■超寬范圍高性能MEMS Pirani傳感器

■先進的創新數字信號處理

■5~1333 mBar的精密氣體獨立傳感器

■0-10 Vdc可編程電壓輸出

■可在任何方向安裝，不影響性能

■可編程電壓輸出信號

■Digital RS-232 interface

■一個用于過程控制的固態繼電器

■絕對超壓耐受性高，可達10 bar（145 psi）

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